研究され尽くしたと考えられてきた電磁バルブに革新が起きつつある。 東京大学 が10ミリ秒で目標流量を実現する精密流体制御技術を開発した。電磁弁を高速駆動して空気の振動を打ち消し、従来の約50分の1の時間で流量を安定させた。地味な成果だが応用は広い。